固体探测器,也称为固体电离室,是以固体材料为工作介质,利用辐射与固体材料的相互作用,进行辐射测量的探测器。固体探测器的工作原理是,射线照射探测器,在电离室内产生电子空穴对,在电场作用下漂移,从而输出信号,通过测量信号大小来获得辐射强度。 电离室,是测量电离辐射强度的探测器,固体探测器是其三大类产品之一,与其他两种产品工作原理相似,但存在不同之处。例如,气体电离室以气体为工作介质,产生的载流子为正-负离子对,固体探测器以固体材料为工作介质,产生的载流子为电子-空穴对。
半导体探测器是代表性固体探测器,以半导体材料为工作介质,常见材料主要有非晶硅、非晶硒、高纯锗等。与气体电离室相比,半导体探测器由于材料密度高,射线阻挡能力强,探测效率更高,且半导体材料的载流子平均电离能远小于气体材料,能量分辨率更高。